氮化铝陶瓷的导热性能优异，并且绝缘性很好，因此被人们制作成各种型号的加热盘，用来给晶圆加热。但是氮化铝陶瓷材料的硬度高，脆性比较大，加工起来的难度比较大。没有专用的数控机床很难对这种材料进行精密加工。我们可以选择使用陶瓷专用的精雕机来制作加工氮化铝加热盘，当然还需要配合磨床来对氮化铝进行平面加工。
氮化铝加热盘普通机床是难以实现完成氮化铝陶瓷材料加工，那么有没有氮化铝陶瓷材料专用机床呢？其实是有的，如下：氮化铝陶瓷材料专用机床：优化机床结构，增强机床刚性，确保机床运行拥有足够的稳定性；采用盔甲防护罩和风琴式防护罩的双层防护设计，避免粉尘进入机床内部件；全密闭分区设计，将加工区域和电器组件区分离；配置大功率吸尘装置，将加工氮化铝陶瓷材料过程中产生大量的陶瓷粉尘快速吸走，避免操机人员吸入大量的粉尘，确保操机人员的健康得到有效的保障；配置环形喷水，确保刀具得到充分冷却，将刀具磨损现象降至最低，并且可以让加工精度、加工质量、加工效率、刀具寿命得到有效保证。
陶瓷雕铣机其实氮化铝陶瓷材料专用机床是有的，但是目前市面还是非常少氮化铝陶瓷材料专用机床的厂家，氮化铝陶瓷材料专用机床的生产厂家，根据氮化铝陶瓷材料的加工难点、加工工艺专门研发、定制一种专门用于氮化铝陶瓷材料加工专用机床，不仅仅有与陶瓷机床一样的功能，并且还具备着更加特殊化功能，在加工效率、加工精度方面有了明显的提升，在机床寿命寿命上也取得了巨大进步。